用途に適した製品を製造するXeryon。そんなXeryonが開発する位置決めステージの強みやラインナップ、会社概要などを紹介します。
Xeryonが開発する位置決めステージは、ノイズや振動が極めて少ない超音波モーターを用いています。ピエゾモーションシステムで発生する不快な音を防ぎ、無音に近い状態にすることが可能です。
Z軸ステージ用に質量補正スプリングを装着することもできます。また、最速200mm/sの動速度や速度安定性が備わっていることも特徴のひとつ。インストールが容易で、誰でも直感的に使用することができます。
インターフェースプレートやブラケット、Dsub15ピンケーブル、取付ねじ一式、真空フィードスルーフランジなど豊富なアクセサリーが揃っています。また、SEMや真空チャンバーに適した真空・非磁性オプションもあり、すべての精密ステージを組み合わせることが可能です。
ニーズに合った多軸ステージを構築することができるでしょう。ステージは簡単に取り付けすることができ、必要に応じてカスタムブラケットの作成が可能です。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
超音波モーターによって駆動され、ピエゾシステムの精度と速度を提供する位置決めステージです。多軸セットアップと簡単に組み合わせることができ、非磁性や真空互換のバージョンとして利用することができます。
コンパクトでありながら、高い耐久性を提供。レーザーや顕微鏡、セミコン製造、科学研究など幅広い分野で活用されています。
ベルギーのルーヴェン大学の研究グループから生まれたXeryonは、2013年に3人の研究者によって設立されました。ナノメートルの精度で高速、長時間の移動を可能にする超音波ピエゾ製品に常に重点を置いています。
医療や産業、科学の分野でサービスを提供。すべてのエンジニアリング、製造、品質管理は、ベルギーで行われています。
| 運営会社 | オーテックス株式会社 |
|---|---|
| 本社所在地 | 東京都新宿区四谷2-12-5 四谷ISYビル5階 |
| 電話番号 | 03-3226-6321 |
| 公式HP | https://www.autex-inc.co.jp/ |
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
