チルトステージは、物体を精密に傾斜させるための位置決めステージです。ステージを傾ける回転軸、回転軸を傾けるための駆動機構、傾斜角度を測定する角度測定機構から成り立っています。本記事では、チルトステージの特徴や活用例を解説します。
チルトステージは、内部の支柱ガイドに回転機構がある位置決めステージです。あおり（煽り）方向に傾斜することで、対象物の角度を微調整することが可能です。高精度な回転機構により、微小な角度調整も実現します。手動式、モーター式、サーボモーター式など、様々な駆動機構から選択できます。
高速応答性、高い安定性などの特性を備えており、レーザ光スキャニング、ミラーアライメント、機器の姿勢調整、ワークの傾斜調整、面合わせなどに適しています。多くのモデルでは、±10度から±60度程度の広い角度調整範囲を持ちます。
さまざまな回転軸を持つタイプがあり、目的に応じて選定することが可能です。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
求める精度を実現できる
位置決めステージメーカー
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チルトステージは、顕微鏡下で試料の角度を調整するために使用されます。これにより、異なる角度からの観察が可能になり、立体的な構造の理解が深まります。また、生物試料や微細な構造物の観察時に、特定の角度でしか見えない特徴を捉えることができます。
半導体製造プロセスでは、ウェハーやチップの検査にチルトステージが使用されます。ウェハーの表面を異なる角度から観察することで、欠陥や異常を検出しやすくなります。
材料科学や結晶学の分野で、X線回折（XRD）測定を行う際にチルトステージが使用されます。試料を傾けることで、異なる結晶面に対する回折パターンを測定し、材料の結晶構造を詳細に解析することができます。
レーザー加工や溶接の際に、チルトステージを使用して材料の角度を調整することで、最適な加工条件を設定することができます。また、レーザー検査システムでは、反射角度を変えて表面の微小な凹凸や傷を検出するのに役立ちます。
3Dプリンティングや3Dスキャンの過程で、チルトステージを使用して対象物を適切な角度に設定することで、より高精度なプリントやスキャンが可能になります。特に複雑な形状の物体の場合、最適な角度を見つけることが重要です。
天体望遠鏡や地上観測装置で、特定の天体や現象を追跡・観測するためにチルトステージが使用されます。これにより、地球の自転や天体の移動に合わせて観測機器の角度を調整することができます。
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
