
用途に"ぴったり"のステージが見つかる
位置決めステージメーカー
の選び方
位置決めステージは「求める精度を実現できるか」がすべて。
メーカー選びにはポイントが2つあります。
ひとつは細やかなニーズに応えられるラインナップがあるか。
もうひとつはさらなる高精度を追求できるカスタム開発ができるか。
そんな厳しい条件をクリアしたメーカーを詳しくご紹介しています。

位置決めステージは「求める精度を実現できるか」がすべて。
メーカー選びにはポイントが2つあります。
ひとつは細やかなニーズに応えられるラインナップがあるか。
もうひとつはさらなる高精度を追求できるカスタム開発ができるか。
そんな厳しい条件をクリアしたメーカーを詳しくご紹介しています。
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位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用:THKプレシジョン公式サイト
(https://p8usrn6d.lp-essence.com/)
引用:コムス公式サイト
(https://www.coms-corp.co.jp/)
引用:日本トムソン公式サイト
(https://www.ikont.co.jp/)
選定条件:Google検索「位置決めステージ」で検索した結果から、位置決めステージを自社開発している、もしくは海外メーカーの代理店であることが公式サイトに記載されている全33社を掲載(2024年3月29日調査時点)
・THKプレシジョンの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイトに記載された国産メーカーであり、かつ扱っているピエゾステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)
・コムスの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイトに記載された国産メーカーであり、かつ扱っているステッピングモータステージステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)
・日本トムソンの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイトに記載された国産メーカーであり、かつ扱っているリニアモータステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)

THKプレシジョンは、ナノメートル単位の超精密位置決めを実現する技術を持ち、アクチュエータやセンサを適切に組み合わせた多彩なラインナップを提供する、ピエゾステージに特化した位置決めステージメーカー。日本製・自社開発の強みを活かし、顧客の要件に合わせたカスタマイズを1品から対応します。
また、THKグループの一員として20年の実績と信頼性を掲げ、全国でのサポート体制を整えています。製品に関するお問い合わせは、お近くのTHK営業所を通じて対応しています。
| 半導体 製造 |
医療機器 製造 |
光学機器 製造 |
研究開発 | ロボティクス | |
|---|---|---|---|---|---|
| 得意分野 | ◯ | - | ◯ | ◯ | - |
ピエゾステージは数ある位置決めステージの中でも特に微細な動きを制御する機器なので、半導体製造に関連した機構や、光学電子機器などの精密さが求められる機械でよく使われます。
研究開発段階の機器は機密事項が多く、用途があまり明らかにされないことも多いですが、例えば産業用ロボティクスでは製造プロセスや微小位置調整、生物学的応用では細胞や組織のマニピュレーションとして使用されることもあります。総じて、時代の先をゆく高度なテクノロジーを必要とするような機械には必須の機器として、THKプレシジョンのピエゾステージは欠かせない存在です。
| 会社名 | THKプレシジョン株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 東京都大田区東糀谷4-9-16 THKテクノセンター2F ▼2024年7月下旬に本社移転 東京都大田区羽田旭町10-11 MFIP羽田102 |
| 電話番号 | 03-5735-5086 |
| 公式サイト | https://p8usrn6d.lp-essence.com/ |
選定条件:Google検索「位置決めステージ」で検索した結果から、位置決めステージを自社開発している、もしくは海外メーカーの代理店であることが公式サイトに記載されている全33社を掲載(2024年3月29日調査時点)
・THKプレシジョンの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイトに記載された国産メーカーであり、かつ扱っているピエゾステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)
コムスは、高精度位置決め技術を活用したシステムを提案し、製造や研究開発に欠かせない技術を提供する位置決めステージメーカーです。
製品には多軸制御の自動ステージや3次元形状測定システムが含まれ、ACサーボモータやステッピングモータなどの多様な駆動方式を備えています。カスタムオーダーも可能で、個々の要望に応じた位置決めシステムを提供します。また、全製品に検査成績書を無料添付し、信頼性の高い製品を保証します。
| 半導体 製造 |
医療機器 製造 |
光学機器 製造 |
研究開発 | ロボティクス | |
|---|---|---|---|---|---|
| 得意分野 | ◯ | - | ◯ | ◯ | ◯ |
ステッピングモータステージは、比較的低コストで導入できることと設定の容易さから、産業用から研究用まで、幅広い分野で採用されています。またプログラム制御が可能であるため、非常に柔軟な運用に期待できるのも特徴です。
用途としては、繰り返し同じ動作を行うロボットアームはもちろん、産業用プリンタのノズル・ヘッドを制御するためなどに使われていることが多く、他にも工場の組み立てラインや生産設備のコンポーネントなどで幅広く利用されています。
| 会社名 | コムス株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 兵庫県神戸市東灘区本山南町8-6-26東神戸センタービルEAST 4F |
| 電話番号 | 078-436-0306 |
| 公式サイト | https://www.coms-corp.co.jp/ |
選定条件:Google検索「位置決めステージ」で検索した結果から、位置決めステージを自社開発している、もしくは海外メーカーの代理店であることが公式サイトに記載されている全33社を掲載(2024年3月29日調査時点)
・コムスの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式にサイト記載された国産メーカーであり、かつ扱っているステッピングモータステージステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)
日本トムソン(IKO)は、リニアモータステージに代表される高品質・高精度の位置決めステージやニードルベアリングを提供し、幅広いニーズに対応します。ISO9001を取得した品質管理体制のもと、一貫した製品づくりを行い、信頼性を確保。カスタムオーダーにも対応し、顧客の要求に応じた製品を提供します。
高度な技術力で新たな価値を創造し、例えば「Cルーブ・メンテナンスフリーシリーズ」や高温高速対応のベアリングを開発。営業部門が顧客の声を迅速に技術・生産部門に反映し、全社体制でニーズに応えることを目指します。
| 半導体 製造 |
医療機器 製造 |
光学機器 製造 |
研究開発 | ロボティクス | |
|---|---|---|---|---|---|
| 得意分野 | △ | △ | ◯ | ◯ | ◯ |
日本トムソンのリニアモータステージは、直線的な動きを必要とする多くの機械・システム・アプリケーションで使用されます。
回転運動を直線運動に変換するための機構を必要とせず、直接的に直線運動を生成するのがポイント。これにより、メカニカルな摩耗やバックラッシュを最小限に抑え、高速で滑らかな運動を実現することができます。
| 会社名 | 日本トムソン株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 東京都港区高輪2-19-19 |
| 電話番号 | 03-3448-5811 |
| 公式サイト | https://www.ikont.co.jp/ |
選定条件:Google検索「位置決めステージ」で検索した結果から、位置決めステージを自社開発している、もしくは海外メーカーの代理店であることが公式サイトに記載されている全33社を掲載(2024年3月29日調査時点)
・日本トムソンの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイトに記載された国産メーカーであり、かつ扱っているリニアモータステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)
THKプレシジョンは、注文や相談に迅速に対応できるの強みの国内メーカー。
ピエゾステージに特化した豊富なラインナップを有しながらも、1台からカスタム開発可能な技術力で「ピッタリ」を実現できます。
| 会社名 | THKプレシジョン株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 東京都大田区東糀谷4-9-16 THKテクノセンター2F ▼2024年7月下旬に本社移転 東京都大田区羽田旭町10-11 MFIP羽田102 |
| 電話番号 | 03-5735-5086 |
| 公式サイト | https://p8usrn6d.lp-essence.com/ |
コムスは要望に応えるカスタムオーダーに対応した、ステッピングモータステージに強みを持つメーカーです。
出荷しているステージには全てレーザ測定器による検査成績書を添付しています。
| 会社名 | コムス株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 兵庫県神戸市東灘区本山南町8-6-26東神戸センタービルEAST 4F |
| 電話番号 | 078-436-0306 |
| 公式サイト | https://www.coms-corp.co.jp/ |
リニアモータステージを中心に多くのラインナップを有する国内メーカーで、ベアリングの品質で高く評価されています。
カスタムオーダーにも対応し、「ピッタリ」の実現におすすめです。
| 会社名 | 日本トムソン株式会社 |
|---|---|
| 所在地 | 東京都港区高輪2-19-19 |
| 電話番号 | 03-3448-5811 |
| 公式サイト | https://www.ikont.co.jp/ |
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ピエゾステージはピエゾ素子を利用することで、ナノメートル単位で非常に高い精度の位置決めが可能な機器です。迅速な応答性と非接触駆動が特徴で、科学研究、半導体製造、光学機器、医療技術など、精密な位置調整が必要な多様な分野で用いられることの多いステージです。
ステッピングモータステージは、ステッピングモータを使って定められた角度により精密な位置決めを行う機器です。低コストで容易に制御可能なため、自動化された製造ラインやロボティクス、研究実験装置など、広範囲な産業で広く利用されています。
リニアモータステージは、リニアモータを使用して直線運動を行う位置決め機器です。高速かつ高精度な動作が可能で、特に半導体製造のリソグラフィーや大型装置の精密な位置調整など、要求される応答速度と精度が高い産業分野で利用されます。
ゴニオステージは角度調整が可能な位置決めステージで、特に厳密な角度制御が求められる精密な測定や、光学実験などでよく使用されます。微小な角度変更を正確に行えるため、光学機器のアライメントや科学研究の分野において重宝される位置決めステージです。
昇降式ステージは、垂直方向の精密な位置調整を可能にする機器です。電動または手動で操作され、主に顕微鏡の焦点調整や機械装置の高さ調整などに用いられます。高精度な昇降機能を持ち、研究実験や産業分野で広く利用されている位置決めステージです。
チルトステージは、対象物を傾斜させるための位置決め機器です。角度調整が可能で、主に光学実験や画像撮影での対象物の向きの微調整に利用されます。精密なアライメントを要求される分野での使用が一般的で、操作の精度と柔軟性が特徴です。
精密ステージは、極めて高い位置決め精度を必要とする用途に適した機器です。これは科学研究、半導体製造、光学機器の組み立てなどで重宝されます。微小な動きの制御が可能で、精密な測定や操作を行う際に不可欠です。さまざまな動きを精密に制御する能力があり、何よりも精度を問うシチュエーションでは欠かせません。
位置決めステージ用のコントローラは、ステージの動きを正確に制御するためのデバイスです。これにより、必要な位置や速度、加速度を細かく設定し、ステージの精密な動作を可能にします。多軸制御やプログラム可能な機能も備えており、科学実験、産業自動化、ロボティクスなど幅広い分野で利用されています。
半導体製造装置では、ウェハを搬送したり、露光や検査などの工程を行ったりすることから、高精度な位置決めステージが必要です。本記事では、半導体製造装置によく使われる位置決めステージや、半導体製造装置の位置決めステージ導入事例を解説します。
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