位置決めステージ用コントローラは、モーター駆動式ステージを精密に制御するための装置です。位置決めステージ用コントローラは、指令信号の生成、駆動装置の制御、位置情報の取得の3つの機能を備えています。
これらの機能により、ステージを高精度かつ安定に制御することが可能です。本記事では、位置決めステージで使用する コントローラの特徴を解説します。
半導体の製造には、高精度な位置決めが必要です。ウエハーの露光装置やエッチング装置では、ナノメートル単位での位置制御が求められます。位置決めステージとそれを制御するコントローラは、ウエハーの位置を正確に制御するために使用されます。
医療分野でも高精度な位置決めが重要です。例えば、放射線治療装置では、患者の体の特定部位に正確に放射線を照射するために位置決めステージとコントローラが使用されます。また、手術用ロボットも精密な動作制御が必要です。
顕微鏡やレーザー加工機などの光学機器においても、高精度な位置決めが求められます。顕微鏡では試料の位置を微調整するために、レーザー加工機ではレーザーの照射位置を正確に制御するために位置決めステージとコントローラが利用されます。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
求める精度を実現できる
位置決めステージメーカー
3選をさっそく見る
バイオテクノロジー分野では、微小なサンプルの処理や分析に高精度な位置決めが必要です。例えば、自動ピペッティングシステムやDNAシーケンサーにおいて、位置決めステージとコントローラが用いられます。
自動車産業では、部品の組み立てや検査に高精度な位置決めが必要です。ロボットアームに取り付けられた位置決めステージとコントローラが、部品を正確に配置し、組み立てや溶接、検査を行います。
各種の研究開発分野では、実験装置や計測装置において精密な位置決めが必要です。例えば、物理学や材料科学の実験装置では、試料の位置を正確に制御するために位置決めステージとコントローラが使用されます。
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
