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位置決めステージの使用環境について

位置決めステージの使用ができない環境は?

位置決めステージを安定的かつ正確に使用するためには、設置・使用する環境にも注意を払う必要があります。以下のような場所での使用は行わないようにしましょう。

位置決めステージの使用に適した環境は?

使用できる環境は10度から50度、湿度は20~70%の非結露状態の場所が使用可能です。

また、推奨される環境として、22度から±5度の範囲、推奨湿度は60%の ±10%で非結露状態の場所が挙げられます。

温度や湿度の高い環境で使用できる位置決めステージはある?

圧電素子を金属ケースなどに封入している「高耐久性モデル」の位置決めステージであれば、ある程度の温度・湿度に耐えることが可能です。ただしどのような環境下でも使用できるとは限らないため、取り扱っている位置決めステージのメーカーに使用環境について確認を行っておきましょう。

真空下での使用はできる?

位置決めステージを真空環境で使用したい場合は、通常の大気仕様の製品では対応できないことに注意が必要です。もし真空中での使用を検討している場合は、あらかじめ真空対応の専用ステージを選定しておくとよいでしょう。製品によっては、グリース交換によって真空下で使用できる場合もあります。

クリーンルームでの使用はできる?

使用することで塵が発生するリスクがあるため、一般的に用いられる位置決めステージの使用はできません。発塵量を抑える専用の潤滑剤に交換する、あるいはクリーンルーム内で使用可能な位置決めステージを用いることで使用することができます。

実現したい位置決め精度別
豊富なラインナップと
カスタマイズ性に優れた
位置決め
ステージメーカー3選

位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。

半導体・研究開発など
微細な位置決めに特化した
ピエゾステージなら
フィジックス
テクノロジー
フィジックス テクノロジー

引用:フィジックス テクノロジー公式サイト
(https://physix-tech.com/index.html)

ピエゾステージ
よく使われる業界
  • 半導体製造装置
  • 光学機器
  • 計測装置
  • ナノテクノロジー
  • バイオテクノロジー
フィジックス テクノロジーが
開発する
ピエゾステージの強み
  • 通常では数センチが限界のナノ精度制御をメートル単位の長距離移動でも実現
  • 超高真空環境・極低温・磁場・放射線環境下でも破損なくナノ精度の位置決めが可能
  •            
  • サブナノレベル分解能を有する光学エンコーダと構造設計・組立技術によって極めて高い繰り返し精度を発揮する
工作機械・流体制御など
ゆっくり動かす機械に強い
ステッピングモータステージなら
コムス
コムス

引用:コムス公式サイト
(https://www.coms-corp.co.jp/)

ステッピングモータステージ
がよく使われる業界
  • 自動組立ライン
  • 流体制御
  • 工作機械
  • 3Dプリンタ
  • オプトメカニカルデバイス
コムスが開発する
ステッピングモータステージの強み
  • CNCマシン、マシニングセンタなどの工作機械用ステージ数が充実している
  • 既存の機種と合わない場合には、仕様に合わせたフルカスタムに対応できる
  • レーザ測定器にて精度測定した検査成績書を添付できる
プレス機・搬送装置など
速度安定性に優れた
リニアモータステージなら
日本トムソン
日本トムソン

引用:日本トムソン公式サイト
(https://www.ikont.co.jp/)

リニアモータステージ
よく使われる業界
  • FPD製造装置
  • プレス機器製造
  • 搬送装置開発
  • 電子部品の組立ライン
日本トムソンが開発する
リニアモータステージの強み
  • 高速でストロークの大きい搬送ギミックに特化したステージ数が充実している
  • コンパクト、ロングストローク、ハイスラストから用途別に選択できる
  • ベアリングや直動案内機器で培った技術により、ガイド精度が高い