本記事ではピーエムティーが開発・提供している位置決めステージについて解説しています。同社では、非接触のエアスライドを採用した位置決めステージを開発。メンテナンスフリーや、より精度の高い位置決めを実現させています。
展開している製品の幅が様々であり、ステージユニットだけでなく微細加工を行える小型加工機やマスクレス露光装置などを提供しています。顧客の要望に応じた位置決めステージを開発してくれるため、他の企業に依頼する必要はありません。
エアスライドを採用した位置決めステージを開発しているため、ナノレベルでの高分解能位置決めを実現。精密な精度が求められる位置決めでも対応できるため、より精度の高い製品を探している方にとっては適切です。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
空気静圧による完全非接触ガイドです。転がりによる振動が発生しないため、高速移動を実現。姿勢精度の値が小さいので、真直度が高いことが特徴です。そのため計測機器や半導体製造装置をはじめとした精密な走行動作が求められる装置に活用するのにおすすめです。アルミナセラミックスを採用しており、外部からの力に対する耐性が高く、経年劣化がほとんどありません。
小型で薄型でありながら、超精密位置決めが可能であることが特徴です。ナノメートルレベルでの位置決めが可能で、レーザー光軸やレンズの調心に活用されています。ステッピングモーターやピエゾに高速切り替えによってスムーズな精度の高い位置決めを実現。ラインナップが３種類4モデルの展開なので、顧客の用途に応じた製品を見つけられます。
非接触のエアスライドを採用し、ダストを発生さずに使用できるためメンテナンスが不要であることが特徴です。高精度のファインセラミックス製のガイドを使用し、繰り返し精度と高い真直度を実現させています。主にウエハ検査装置や露光装置で使用されており、高い精度の位置決め・運動精度の高さが売りです。
幅広いネットワークと多様な要素技術を活用し、業界にとらわれることのないものづくりを行っているメーカーです。時代のニーズに即した事業を展開し、機械・装置事業や精密部品加工事業など幅広く展開。常に主体変容を遂げる企業であることをモットーとし、社会貢献に努めています。
| 運営会社名 | 株式会社ピーエムティー |
|---|---|
| 本社所在地 | 福岡県糟屋郡須恵町大字佐谷1705-1 |
| 電話番号 | 092-933-3110 |
| 公式HP | https://pm-t.com/ |
【ピエゾステージをお探しなら】
業界別おすすめメーカー3選を見る
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
