TOTOが開発した「エアスライド」は、TOTOが誇るエアパット設計と高精度加工技術を融合させた静圧空気軸受（エアベアリング）によって、ガイド装置とテーブルとの間に常時0.4MPa程度の加圧空気を噴出させます。これによりテーブルとガイド間の接触をなくして摩擦を解消し、スティックスリップなどの発生を抑制することで高精度の位置決め制御を可能にしていることが特徴です。
非接触のガイドを可能にすることで、摩擦熱が発生せず、高速での移動を実現しています。さらに加圧空気の高度な制御によって運動中の振動も抑えており、ガイド表面の凹凸やうねりによる影響を抑えながら、位置決め制御の精度や再現性の向上まで叶えていることがポイントです。
グリスや注油といった作業が不要な無潤滑ガイドになるためメンテナンス性にも優れており、素材同士の摩擦による劣化や摩耗粉を抑えることでクリーンルームでの使用も可能となりました。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
TOTOのエアベアリングを構成パーツとして採用し、非接触・無潤滑の位置決め制御を可能とするソリューションです。様々な位置決めステージの構成部品として活用することで、高精度な位置決めステージや新しい位置決めステージの開発にも対応しており、半導体・液晶露光装置や超精密加工装置、高精度形状測定装置といった機器のバリエーションを拡張しています。
トイレやシステムバスといった住宅設備や衛生機器を始めとして、様々な製品のメーカーとして知られている国産グローバルカンパニーです。創業は1917年（大正6年）にまで遡り、100年以上にわたって日本国内はもちろん全世界規模にソリューションを提供してきました。
また新しい技術や素材の開発にも積極的に取り組んでおり、独自の技術やシステムを土台として幅広い業界のニーズに対応する機器や製品の創造も実現しています。
| 運営会社 | TOTO株式会社 |
|---|---|
| 本社所在地 | 福岡県北九州市小倉北区中島2-1-1 |
| 電話番号 | 093-951-2052 |
| 公式HP | https://jp.toto.com/ |
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
