リニアモータステージは、リニアモータを駆動源とした直線運動の精密位置決めステージで、高精度な位置決めと高速な移動を実現できます。本記事では、リニアモータステージの特徴や活用例を解説します。
リニアモータステージは、リニアモータによって直接駆動されるため、ボールねじ駆動に比べて高精度かつ高速な移動が可能です。リニアエンコーダを併用することで、位置決め精度はナノメートルレベルに達することもあります。
機械的な接触部分が少ないため、摩耗が少なく、メンテナンスの頻度が低く抑えられます。これにより、長期間にわたる安定した性能が期待できます。
リニアモータステージは、高い可搬能力と剛性を持ち、重い負荷や大きな力がかかるアプリケーションでも使用できます。これにより、さまざまな産業用途に適応可能です。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
求める精度を実現できる
位置決めステージメーカー
3選をさっそく見る
リソグラフィー装置やウェハー検査装置など、半導体製造プロセスにおいて、ウェハーの高速かつ高精度な位置決めが求められる場面で使用されます。これにより、生産性と品質の向上が図られます。
精密測定装置において、試料や測定ヘッドの正確な位置決めが必要な場面で使用されます。リニアモータステージの高精度な制御により、測定結果の信頼性が向上します。
光学機器やレーザー加工機では、レンズやミラーの正確な位置調整や、加工対象物の高精度な移動が必要です。リニアモータステージの使用により、精度の高い光学調整やレーザー加工が可能になります。
医療機器、特に画像診断装置や放射線治療装置などで、患者や機器の位置決めに使用されます。リニアモータステージの高い信頼性と精度により、安全かつ効果的な治療・診断が実現されます。
工場の自動化システムやロボットアームにおいて、物体の精密な位置決めや移動が求められる場面で使用されます。リニアモータステージの高速・高精度な動作により、生産ラインの効率化と製品の品質向上が図られます。
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
