XYステージとは、2次元平面上（X軸とY軸）で精密な位置決めが可能な機構のことを指します。この装置を用いることで、試料やワークの移動や配置をより正確に行うことができます。主に手動・電動の両タイプが存在します。
ボールねじやリニアガイドを使用し、滑らかな直線移動を行うことができます。また、高精度なガイドと駆動システムを用いることで、ミクロンレベルの位置決めを行うことも可能です。
PLCやPC制御と組み合わせることで、工場の自動化ラインに適用することもできるでしょう。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
求める精度を実現できる
位置決めステージメーカー
3選をさっそく見る
半導体製造では、XYステージは露光装置や高精度検査装置などに使用されます。近年では集積回路の微細化に伴い、XYステージにもナノメートル単位の位置決め精度が求められるようになっています。
また、ウェハーのパターン形成や検査でも使用されています。例えば、リソグラフィー装置では、XYステージの制御によって、適切な回路パターンを形成しています。高性能なXYステージを導入することで、半導体生産における効率向上と品質確保を目指せるでしょう。
サンプルの正確な位置決めや、観察範囲のスムーズな移動を行うためにXYステージが使用されます。顕微鏡に使用されるXYステージには、手動式から自動制御システムを備えたものまで、さまざまな種類があります。特に、自動XYステージを用いることで、研究者は特定の領域を精密に追跡し、長時間にわたる観察やスキャンを行うことが可能になります。
フラットパネルディスプレイ製造では、微細な配線や構造の形成が求められるので、ナノメートルレベルの精度を持つXYステージが不可欠です。特に、大型パネルの製造においては、XYステージの安定した動作と素早い位置決め性能が求められており、性能の善し悪しが生産効率にも影響します。
THKプレシジョンは、超精密な位置決め技術を核とし、最先端のものづくり産業を支援することをモットーとする企業です。
ピエゾモーターのXYステージを扱っており、数ミリメートルから数十ミリメートルのストローク範囲において、20～40ナノメートルの分解能で精密な位置決め制御が行えます。静止時にも推力とほぼ同じ保持力を維持するため、高い安定性を確保できる点が特徴です。
高精度な位置決め技術と直感的に操作できる制御技術を基盤とし、位置決めステージや3次元形状測定システムなどの開発・販売を手がける企業です。
同社が取り扱うXYステージの代表的な製品として、「PM40・80B series」があります。このシリーズは、一体型ガイドシステムを採用することで、高い精度を維持しながら省スペース設計となっている点が特徴。また、ハイスペックな精密ボールねじを搭載しており、繰り返し位置決めの精度向上や平行度の高精度化を可能にしています。
神津精機は、最先端の科学技術の発展に貢献することを使命とし、実験研究機器や産業用精密機器の分野に注力している企業です。研究開発や精密加工の現場で求められる高精度な機器を提供し、技術革新を支えることを目指しています。
同社が取り扱うXYステージは、手動タイプから自動タイプまで幅広いラインナップを揃えており、用途や予算に応じた選択が可能です。移動範囲や価格などの詳細な情報は、公式ホームページから確認できるため、ニーズに合った適切な製品を見つけやすくなっています。
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
