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昇降式ステージ

昇降式ステージは、床からの高さを自由に変えられる位置決めステージです。ステージを支えるフレーム、ステージの高さを調整する昇降機構、ステージ(平台)から成り立っています。本記事では、昇降式ステージの特徴や活用例を解説します。

目次

昇降式ステージの特徴

高精度な位置決め

昇降式位置決めステージは、高精度な位置決めが可能で、ミクロン単位での制御ができます。これにより、微細な調整や高精度な測定が求められる場面で非常に有効です。

垂直方向の動作

主に垂直方向に移動する機構を持ち、試料や機器を上下に動かすことができます。これにより、異なる高さの試料を調整したり、焦点を合わせる作業が容易になります。

モーター駆動および手動操作

昇降式位置決めステージは、モーター駆動(電動)タイプと手動操作タイプがあります。モーター駆動タイプは自動化システムに組み込むことができ、リモート操作やプログラム制御が可能です。一方、手動タイプは簡便でコストパフォーマンスが高く、調整が容易です。

求める精度で、おすすめの位置決めステージメーカーは変わる!

位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。

このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。

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位置決めステージメーカー
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昇降式ステージの活用例

顕微鏡観察

昇降式位置決めステージは、顕微鏡で試料の焦点合わせや高さ調整に使用されます。異なる高さの試料や厚みのある試料を正確に観察するために、ステージの垂直位置を調整します。

レーザー加工および検査

レーザー加工機では、レーザービームの焦点位置を正確に設定するために昇降式位置決めステージが使用されます。また、レーザー検査装置でも、対象物の高さを調整して最適な検査条件を確保します。

半導体製造プロセス

半導体の製造や検査過程で、ウェハーの高さ調整に使用されます。特に、フォトリソグラフィ工程や検査装置での正確な位置決めが重要です。

3Dプリンティング

3Dプリンターでは、昇降式位置決めステージがプリントベッドの高さ調整に使用されます。これにより、プリント開始前に正確なベッドレベリングが可能となり、高品質なプリントが実現します。

材料試験および評価

材料試験装置では、試料の高さを調整するために昇降式位置決めステージが使用されます。特に、引張試験や圧縮試験などで、試料を適切な位置にセットし、正確な測定を行うために必要です。

実現したい位置決め精度別
豊富なラインナップと
カスタマイズ性に優れた
位置決め
ステージメーカー3選

位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。

半導体・研究開発など
微細な位置決めに特化した
ピエゾステージなら
フィジックス
テクノロジー
フィジックス テクノロジー

引用:フィジックス テクノロジー公式サイト
(https://physix-tech.com/index.html)

ピエゾステージ
よく使われる業界
  • 半導体製造装置
  • 光学機器
  • 計測装置
  • ナノテクノロジー
  • バイオテクノロジー
フィジックス テクノロジーが
開発する
ピエゾステージの強み
  • 通常では数センチが限界のナノ精度制御をメートル単位の長距離移動でも実現
  • 超高真空環境・極低温・磁場・放射線環境下でも破損なくナノ精度の位置決めが可能
  •            
  • サブナノレベル分解能を有する光学エンコーダと構造設計・組立技術によって極めて高い繰り返し精度を発揮する
工作機械・流体制御など
ゆっくり動かす機械に強い
ステッピングモータステージなら
コムス
コムス

引用:コムス公式サイト
(https://www.coms-corp.co.jp/)

ステッピングモータステージ
がよく使われる業界
  • 自動組立ライン
  • 流体制御
  • 工作機械
  • 3Dプリンタ
  • オプトメカニカルデバイス
コムスが開発する
ステッピングモータステージの強み
  • CNCマシン、マシニングセンタなどの工作機械用ステージ数が充実している
  • 既存の機種と合わない場合には、仕様に合わせたフルカスタムに対応できる
  • レーザ測定器にて精度測定した検査成績書を添付できる
プレス機・搬送装置など
速度安定性に優れた
リニアモータステージなら
日本トムソン
日本トムソン

引用:日本トムソン公式サイト
(https://www.ikont.co.jp/)

リニアモータステージ
よく使われる業界
  • FPD製造装置
  • プレス機器製造
  • 搬送装置開発
  • 電子部品の組立ライン
日本トムソンが開発する
リニアモータステージの強み
  • 高速でストロークの大きい搬送ギミックに特化したステージ数が充実している
  • コンパクト、ロングストローク、ハイスラストから用途別に選択できる
  • ベアリングや直動案内機器で培った技術により、ガイド精度が高い