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ゴニオステージ

ゴニオステージは、物体を精密に回転させることを目的とした、光の作用や性質を利用した機器です。本記事では、ゴニオステージの特徴や活用例を解説します。

目次

ゴニオステージの特徴

多軸回転機能

ゴニオステージは、複数の回転軸を持つことが一般的です。これにより、試料や装置を複数の方向に回転させることができ、三次元的な角度調整が可能です。

高精度な角度調整

高精度な角度調整が可能で、ミクロン単位の移動とともに微細な角度調整を実現します。これにより、精密な測定や加工が必要な場面での使用が適しています。

手動およびモーター駆動タイプ

ゴニオステージには手動操作タイプとモーター駆動(電動)タイプがあり、用途に応じて選択が可能です。手動タイプは簡便でコストパフォーマンスが高く、モーター駆動タイプは自動化やリモート操作に対応しています。

求める精度で、おすすめの位置決めステージメーカーは変わる!

位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。

このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。

求める精度を実現できる
位置決めステージメーカー
3選をさっそく見る

ゴニオステージの活用例

X線回折(XRD)測定

材料科学や結晶学の分野で、結晶の特定の面に対するX線回折パターンを測定するためにゴニオステージが使用されます。試料を異なる角度に正確に調整することで、詳細な結晶構造の解析が可能です。

顕微鏡観察

ゴニオステージは、顕微鏡下での試料の角度調整に使用されます。これにより、異なる視点から試料を観察することができ、立体的な構造や形状の把握が容易になります。

半導体検査

半導体ウェハーやチップの検査において、ウェハーの表面を異なる角度から観察・測定するためにゴニオステージが使用されます。これにより、欠陥や異常を検出する精度が向上します。

レーザー加工

レーザー加工において、加工対象物の角度を精密に調整するためにゴニオステージが使用されます。これにより、最適な加工条件を設定し、精度の高い加工が可能になります。

光学実験

光学系の実験で、レンズやミラーなどの光学部品の角度調整にゴニオステージが使用されます。これにより、光路の正確な調整や最適な配置が実現し、実験結果の精度が向上します。

実現したい位置決め精度別
豊富なラインナップと
カスタマイズ性に優れた
位置決め
ステージメーカー3選

位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。

半導体・研究開発など
微細な位置決めに特化した
ピエゾステージなら
フィジックス
テクノロジー
フィジックス テクノロジー

引用:フィジックス テクノロジー公式サイト
(https://physix-tech.com/index.html)

ピエゾステージ
よく使われる業界
  • 半導体製造装置
  • 光学機器
  • 計測装置
  • ナノテクノロジー
  • バイオテクノロジー
フィジックス テクノロジーが
開発する
ピエゾステージの強み
  • 通常では数センチが限界のナノ精度制御をメートル単位の長距離移動でも実現
  • 超高真空環境・極低温・磁場・放射線環境下でも破損なくナノ精度の位置決めが可能
  •            
  • サブナノレベル分解能を有する光学エンコーダと構造設計・組立技術によって極めて高い繰り返し精度を発揮する
工作機械・流体制御など
ゆっくり動かす機械に強い
ステッピングモータステージなら
コムス
コムス

引用:コムス公式サイト
(https://www.coms-corp.co.jp/)

ステッピングモータステージ
がよく使われる業界
  • 自動組立ライン
  • 流体制御
  • 工作機械
  • 3Dプリンタ
  • オプトメカニカルデバイス
コムスが開発する
ステッピングモータステージの強み
  • CNCマシン、マシニングセンタなどの工作機械用ステージ数が充実している
  • 既存の機種と合わない場合には、仕様に合わせたフルカスタムに対応できる
  • レーザ測定器にて精度測定した検査成績書を添付できる
プレス機・搬送装置など
速度安定性に優れた
リニアモータステージなら
日本トムソン
日本トムソン

引用:日本トムソン公式サイト
(https://www.ikont.co.jp/)

リニアモータステージ
よく使われる業界
  • FPD製造装置
  • プレス機器製造
  • 搬送装置開発
  • 電子部品の組立ライン
日本トムソンが開発する
リニアモータステージの強み
  • 高速でストロークの大きい搬送ギミックに特化したステージ数が充実している
  • コンパクト、ロングストローク、ハイスラストから用途別に選択できる
  • ベアリングや直動案内機器で培った技術により、ガイド精度が高い