本記事では、住友重機械工業が開発する位置決めステージの強みや会社の特徴、開発している位置決めステージの詳細についてまとめています。同社では、ナノメートルオーダーの高い位置決めステージを提供。より高精度でかつナノレベルでのステージを必要としているのであれば、ぜひ参考にしてみてください。
住友重機械工業では、ナノレベルのすごく微細な動きをコントロールする駆動機構の開発や省電力化、データ通信の容量を増加させるなど、さまざまな可能性を実現させています。自社独自の反力処理ユニットを展開し、高加減速移動時にステージの振動を最小限に抑えることが可能。次世代装置に求められている、高スループット化に寄与しています。
住友重機械工業では、従来の技術では実現可能ではないナノレベルでの高い精度要求に対し、ほぼ1年で真空エアサーボステージの製品化に成功。次世代のハイエンド製品供給を目指すメーカーからの希望に応えられる実力のある機械メーカーです。オンリーワンの技術でもあり、半導体製造装置における発展に貢献しています。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
低い重心によるH型構造を採用し、速度安定性や位置決めの精度の向上を実現させています。また、オプションで搭載部品を用意しています。必要な機能をプラスできることにより、幅広い顧客ニーズに応えられるステージを開発。その上、高速高加減速の際に高精度駆動を実現する反力処理機構であることも特徴です。
高精度な半導体製造装置に必要な、位置決めステージ。真空状態での稼働と高精度の達成が魅力で、ナノレベルの位置決めを高速でかつ高精度で行えます。高真空度に対応でき、真空チャンバーの中で稼働が可能。また発熱フリーで非磁性、非接触であることも特徴であり、他のエアサーボステージと比較しても、レベルの違いがあります。
高精度かつ、リニアモータ駆動ステージによりコンピューターやネットワーク機器が単位時間あたりに処理できるデータ量が多いステージ。高い性能を備えた位置決めステージにも関わらず、低価格で提供しています。独自の反力処理機構により、高い精度の位置決めを実現させることが魅力です。
住友重機械工業は1888年に創業し、社会と産業の発展に貢献し続けてきました。一般産業機械や精密機械などに対応する総合機械メーカーです。創業から培った確かな技術力と、品質の高い製品を提供しています。
| 運営会社名 | 住友重機械工業株式会社 |
|---|---|
| 本社所在地 | 東京都品川区大崎2-1-1 |
| 電話番号 | 03-6737-2000 |
| 公式HP | https://www.shi.co.jp/index.html |
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業界別おすすめメーカー3選を見る
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
