ここでは、SmarAct社の日本総代理店であるフィジックス テクノロジーの、位置決めステージの強みやラインナップなどをまとめています。
SmarAct社製のエンコーダーとクローズドループ制御を組み合わせることで、これまで数センチ程度に限られていたナノ精度の動作範囲を最長1,410mm※まで拡大。分解能1nm・繰り返し精度±40nm※1を長いストロークの中でも一貫して保つことができます。
長時間測定の途中でズレが生じ、最初から計測をやり直すという事態を防止。研究スピードと結果への信頼性を両立できます。
超高真空・極低温・強磁場といった環境下では、一般的な精密ステージは性能を維持できないケースがあります。フィジックス テクノロジーでは、チタン製ベースプレート・セラミックガイドウェイ・カプトンケーブルの採用とグリスレス構造により、アウトガスや磁気干渉を徹底して排除。最小分解能1nm※の性能を極限条件のもとでも発揮できる設計としています。
環境を理由に実験の選択肢を狭めることなく、研究者が本来やりたい実験に集中できる環境を実現できるでしょう。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
長距離移動でもナノ精度を
維持する光学ベンチ型ステージ
光学ベンチとキャリアで構成され、1本のベンチに複数キャリアを独立配置・制御できます。最大1,410mmのストロークでも分解能1nm・繰り返し精度±100nmを維持します。
エンドストップや除振台の固定穴に対応したアダプタなど、オプションも充実しています。
高剛性・長ストロークと高精度を
両立したリニアステージ
クロスローラガイドレールを採用し、16〜123mmまでの9モデルをラインアップ。移動距離が変わっても分解能1nm・繰り返し精度±40nmを保つことが可能です。
高真空・超高真空・非磁性の各オプションや、U字型ベースによる剛性向上などにも対応しています。
4Kの極限環境下でもナノ精度を
発揮する極低温対応ステージ
SLCシリーズの特殊バージョンとして開発された極低温対応ステージです。ベースプレートにチタンを採用し、高精度ベアリングにはソリッドステートコーティングを施したドライな潤滑剤を使用しているため、極低温下でも潤滑剤の固化による動作不良が起きません。
4K環境であっても最大1mm/s、室温（300K）では最大20mm/sでの動作が可能です。
省スペース・多軸構成でも
精度高い小型ステージ
幅17mm・高さ8.5mmのコンパクト設計ながら全7モデルで分解能1nm・繰り返し精度±40nmを発揮します。
また、精度の維持が課題となりやすいXY2軸・XYZ3軸システムなど多軸構成への展開に適したステージです。
ドイツ・SmarAct社の日本における正規代理店として、高精密位置決め分野の技術・製品を提供しています。
真空・極低温・強磁場といった過酷な条件下でも、ナノレベルの分解能と長距離移動を高い次元で実現。半導体・量子技術・ライフサイエンスなど、妥協のない精度が要求される領域において、既製品では対応しきれない特殊仕様やオーダーメイドの提案を得意としています。
| 運営会社名 | 株式会社フィジックス テクノロジー |
|---|---|
| 本社所在地 | 千葉県市川市南八幡4-2-5 いちかわ情報プラザ |
| 電話番号 | 047-370-8600 |
| 公式HP | https://www.physix-tech.com/index.html |
【ピエゾステージをお探しなら】
業界別おすすめメーカー3選を見る
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用：フィジックス テクノロジー公式サイト
（https://physix-tech.com/index.html）
引用：コムス公式サイト
（https://www.coms-corp.co.jp/）
引用：日本トムソン公式サイト
（https://www.ikont.co.jp/）
