このページでは位置決めステージを種類別に詳しくご紹介しています。動作範囲やスピード、精度によって適切なステージは違うので、開発している機器にふさわしいステージをまずはチェックしてみてください。
ピエゾステージは、ピエゾ素子(圧電素子)と呼ばれる特殊な材料を利用して、物体を精密に移動させ、微細な位置決めを行う装置です。ナノメートルオーダーの精細な移動と位置決めが可能で、長寿命で振動が少ないなどの特徴もあります。
ステッピングモータステージは、ステッピングモータと呼ばれる電気モーターと、精密なネジ機構を組み合わせた位置決めステージです。サブミクロンレベル(1万分の1ミリ)の高い精度で位置決めを行うことが可能です。
リニアモータステージは、リニアモータを駆動源とした直線運動の精密位置決めステージで、高精度な位置決めと高速な移動を実現できます。本記事では、リニアモータステージの特徴や使用事例を解説します。
位置決めステージは"大は小を兼ねない"機器。ピッタリの精度で動く「ちょうどいいステージ」が必要です。だからこそ、豊富なラインナップを持つメーカーに相談するのが一番の近道。ただ、それでも見つからなかった場合に備えて、カスタム開発に取り組む会社を選んでおくとベターです。
このサイトではその両方を兼ね備えたおすすめのメーカーを、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージという動作範囲の違う3種類ごとに紹介しています。ぜひ導入の参考にしてみてください。
求める精度を実現できる
位置決めステージメーカー
3選をさっそく見る
ゴニオステージは、物体を精密に回転させることを目的とした、光の作用や性質を利用した機器です。本記事では、ゴニオステージの特徴や使用事例を解説します。
昇降式ステージは、底からの高さを自由に変えられる位置決めステージです。ステージを支えるフレーム、ステージの高さを調整する昇降機構、ステージ(平台)から成り立っています。本記事では、昇降式ステージの特徴や使用事例を解説します。
チルトステージは、物体を精密に傾斜させるための位置決めステージです。ステージを傾ける回転軸、回転軸を傾けるための駆動機構、傾斜角度を測定する角度測定機構から成り立っています。本記事では、チルトステージの特徴や使用事例を解説します。
精密ステージは、試料(サンプル)や加工対象物、顕微鏡などを決められた位置まで精細に動かすための位置決めステージです。単独ステージ、2軸ステージ、3軸ステージなど、必要な自由度に応じて選べます。
XYステージは、X軸とY軸の2次元平面上で精密な位置決めを行う装置。試料やワークの移動・配置を高精度に制御できます。手動タイプと電動タイプがあり、ボールねじやリニアガイドを使用することで滑らかな直線移動が可能です。XYステージについて、活用例や実際に扱っているメーカーについて見ていきましょう。
位置決めステージ用コントローラは、モーター駆動式ステージを精密に制御するための入力装置です。位置決めステージ用コントローラは、指令信号の生成、駆動装置の制御、位置情報の取得の3つの機能を備えています。
位置決めステージを動作範囲の小さい順に並べると、ピエゾステージ・ステッピングモータステージ・リニアモータステージの3種類に大きく分類できます。充実したラインナップから選べて、いざというときはカスタム開発もできるおすすめメーカーをご紹介しているので、依頼先選びの参考にしてみてください。
引用:THKプレシジョン公式サイト
(https://p8usrn6d.lp-essence.com/)
引用:コムス公式サイト
(https://www.coms-corp.co.jp/)
引用:日本トムソン公式サイト
(https://www.ikont.co.jp/)
選定条件:Google検索「位置決めステージ」で検索した結果から、位置決めステージを自社開発している、もしくは海外メーカーの代理店であることが公式サイトに記載されている全33社を掲載(2024年3月29日調査時点)
・THKプレシジョンの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイト記載された国産メーカーであり、かつ扱っているピエゾステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)
・コムスの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイト記載された国産メーカーであり、かつ扱っているステッピングモータステージステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)
・日本トムソンの選定理由:33社の内、個別にカスタム開発もできる旨が公式サイト記載された国産メーカーであり、かつ扱っているリニアモータステージのラインナップが最も多いメーカーとして選出(2024年3月29日調査時点)